PEEK硅片座具有高硬度、極少的顆粒產(chǎn)生量、高潔凈度等特性，此外，PEEK材料還具有卓越的耐化學(xué)腐蝕性、耐磨損性、耐水解性、非常優(yōu)異的電介質(zhì)強(qiáng)度及出色的耐輻射性能，因此PEEK材料是半導(dǎo)體行業(yè)的理想材料。
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